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加工中心激光干涉儀常用于數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)和補(bǔ)償。中圖儀器SJ6000激光干涉儀件可以將線(xiàn)性測(cè)量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表,該表涵蓋了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)償值,運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過(guò)修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來(lái)消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差,精確的補(bǔ)償,可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
產(chǎn)品名稱(chēng):SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式:激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
線(xiàn)性測(cè)量精度:0.5ppm(0-40)℃
線(xiàn)性測(cè)量距離:(0-80)m(無(wú)需遠(yuǎn)距離線(xiàn)性附件)
角度測(cè)量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測(cè)量分辨力:1nm
動(dòng)態(tài)采集頻率:50KHz
預(yù)熱時(shí)間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
主要特點(diǎn):應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋?zhuān)焊嘣敿?xì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取
SJ6000加工中心激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。
SJ6000激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。